（2026年8月31日 中國(guó)無(wú)錫訊）在第十四屆半導(dǎo)體設(shè)備材料及核心部件展（CSEAC 2026）上，杜邦(展位號(hào)B4-872)重磅展示了其Vespel®零件及型材與MOLYKOTE®特種潤(rùn)滑系列解決方案，旨在滿足先進(jìn)半導(dǎo)體制造日益嚴(yán)苛的應(yīng)用需求。
Vespel®零件與型材憑借卓越的耐久性、尺寸穩(wěn)定性和接觸完整性，可有效保障設(shè)備可靠運(yùn)行并提升制程良率。與這些高性能材料協(xié)同作用的 MOLYKOTE®特種潤(rùn)滑解決方案，則進(jìn)一步增強(qiáng)設(shè)備可靠性、運(yùn)行時(shí)間及整體防護(hù)性能。
“中國(guó)是全球最具活力、具有戰(zhàn)略意義的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。”杜邦™ Vespel®電子行業(yè)全球市場(chǎng)經(jīng)理Rearu Yachi表示，“CSEAC 2026為杜邦與本土半導(dǎo)體制造商、設(shè)備廠商及產(chǎn)業(yè)生態(tài)伙伴開展深入交流提供了絕佳平臺(tái)。隨著星空人工智能和數(shù)據(jù)中心應(yīng)用推動(dòng)芯片架構(gòu)日趨復(fù)雜，半導(dǎo)體制造對(duì)設(shè)備性能與可靠性的要求持續(xù)提升。憑借創(chuàng)新型Vespel®和 MOLYKOTE®解決方案，杜邦致力于幫助客戶提升設(shè)備可靠性和制造生產(chǎn)效率，同時(shí)優(yōu)化總體擁有成本。”
極致耐久
助力應(yīng)對(duì)嚴(yán)苛半導(dǎo)體制造工況
隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)不斷進(jìn)步，設(shè)備關(guān)鍵部件必須能夠承受強(qiáng)腐蝕性化學(xué)介質(zhì)、極端溫度、持續(xù)磨損以及長(zhǎng)期無(wú)潤(rùn)滑運(yùn)行等嚴(yán)苛工況。Vespel®材料憑借卓越的耐磨性能和熱穩(wěn)定性，能夠有效延長(zhǎng)部件使用壽命、降低維護(hù)頻次，并在濕法工藝、干法刻蝕、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）以及晶圓搬運(yùn)等關(guān)鍵制程中提供可靠性能保障。
與之形成優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)的是，MOLYKOTE®以全氟聚醚（PFPE）為基礎(chǔ)的潤(rùn)滑解決方案，專為真空和高溫環(huán)境設(shè)計(jì)，具有極低揮發(fā)性、低放氣率、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性以及出色的化學(xué)惰性。該系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于滾珠絲杠、軸承、閥門和密封件等關(guān)鍵部件，有助于降低摩擦與磨損，減少因潤(rùn)滑失效導(dǎo)致的設(shè)備故障，并最大限度提升設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間（Uptime）
極致精工
滿足先進(jìn)制程對(duì)精度的嚴(yán)苛要求
隨著半導(dǎo)體制造工藝不斷向更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，對(duì)設(shè)備精度、公差控制和生產(chǎn)效率的要求日益提升，保持優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性變得愈發(fā)關(guān)鍵。Vespel®材料兼具優(yōu)異的抗熱膨脹和抗?jié)穸茸兓芰Α⒆吭降目谷渥冃阅芤约案呔燃庸ぬ匦裕軌驇椭O(shè)備制造商實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的公差控制，并確保長(zhǎng)期可靠運(yùn)行。
Vespel®精密零件與 MOLYKOTE®特種潤(rùn)滑解決方案協(xié)同發(fā)揮作用，幫助半導(dǎo)體設(shè)備在長(zhǎng)期運(yùn)行過程中保持卓越的精度、一致性和潔凈室兼容性能，從而提升設(shè)備可靠性并助力制造良率提升。
接觸完整性
為良率和設(shè)備可靠運(yùn)行保駕護(hù)航
在半導(dǎo)體制造中，設(shè)備部件與晶圓之間可靠且穩(wěn)定的接觸，對(duì)于降低顆粒產(chǎn)生并保護(hù)敏感表面至關(guān)重要。Vespel®零件兼具卓越的耐磨性、低發(fā)塵特性和低基材損傷優(yōu)勢(shì)，可在晶圓搬運(yùn)、靜電卡盤頂針（Electrostatic Chuck Lift Pins）、機(jī)械手末端執(zhí)行器（End Effectors）以及半導(dǎo)體測(cè)試等關(guān)鍵應(yīng)用中提供穩(wěn)定一致的性能表現(xiàn)。
針對(duì)潔凈室環(huán)境中的運(yùn)動(dòng)部件，MOLYKOTE®低發(fā)塵潤(rùn)滑解決方案可提供優(yōu)異的抗磨損保護(hù)和穩(wěn)定的扭矩輸出性能，有助于降低污染風(fēng)險(xiǎn)、減少維護(hù)需求，并滿足半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度和可靠性的嚴(yán)苛要求。
我們誠(chéng)摯邀請(qǐng)您蒞臨杜邦展臺(tái)，與材料專家和工程技術(shù)團(tuán)隊(duì)深入交流，共同探索提升設(shè)備性能、提高生產(chǎn)效率的創(chuàng)新解決方案，并攜手開啟半導(dǎo)體制造發(fā)展的更多可能。
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